Beskrivning
NIST, standardreferensmaterial, mikrosfärer och pärlor av polystyren som används i standarder för kalibrering och kontaminering av skivor för att verifiera storleksnoggrannheten hos KLA- och KLA-Tencor-waferinspektionssystem.
NIST SRM, partikelstorleksstandarder, PSL-sfärer, storlekskalibrering
NIST SRM-partikelstorleksstandarder är de kalibreringsnormer som är kända över hela världen för användning med alla applikationer som kräver en standardstorlek för NIST SRM (storlek referensmaterial) med extremt noggranna storlekar, smala storlekstoppar och smal standardavvikelse. De kan användas för kalibrering och validering av en mängd olika partikelstorlekar, inklusive ljusspridningsinstrument, elektronmikroskop och analysatorer för differentiell mobilitet. De är särskilt kritiska för kalibrering av inspektionssystem för ytskanning, som används för att upptäcka och karakterisera defekter på kiselskivor. Exakta referenspartiklar behövs för att utveckla och främja skanningssystemen för hög genomströmning, kostnadseffektiv skivproduktion som är avgörande för miniatyrisering av enheter. Referenspartiklarna kan också användas för att tillhandahålla mono-dispergerade (toppstorlekstoppar) -partiklar för att testa aerosolinstrument och är användbara för att undersöka aerosolkinetik och utvärdera partikeldetektorrespons.
Det certifierade värdet för modaldiametern:
60 nm SRM 1964 polystyrenmikrosfärer är 60.39 nm, med en utökad osäkerhet på ± 0.63 nm;
100 nm SRM 1963A polystyrenmikrosfärer är 101.8 nm, med en utökad osäkerhet på ± 1.1 nm;
269 nm SRM 1691 polystyrenmikrosfärer är 269 nm, med en utökad osäkerhet på ± 4 nm;
895 nm SRM 1690 polystyrenmikrosfärer är 895 nm, med en utökad osäkerhet på ± 5 nm.
Mätningar utfördes med användning av differentiell mobilitetsanalys och kan spåras till He-Ne-laservåglängden i luft, 632.807 nm, som har bestämts med avseende på den grundläggande standarden för längd.
Polystyren latex mikrosfärer, 20-900nm, polystyren latex partiklar - Köp nu
Polystyren latex mikrosfärer, 1um-160um, polystyren latex partiklar - Köp nu
De sfäriska diametrarna är kalibrerade med linjära dimensioner beräknade med NIST. Sfärer används istället för oregelbundet formade partiklar för att minimera responsen hos laserskannrar som är känsliga för formade partiklar. Standarderna är förpackade som vattenhaltiga suspensioner i 5 milliliter (ml) dropptippade flaskor. Partikelkoncentrationerna är optimerade för att underlätta spridning och kolloidal stabilitet. Sfärerna har en densitet av 1.05 g / cm3 och ett brytningsindex av 1.59 @ 589 nm, mätt vid 25 grader Celsius.
Varje paket innehåller ett certifikat för kalibrering och spårbarhet till NIST som innehåller en beskrivning av kalibreringsmetoden och dess osäkerhet, och en tabell över kemiska och fysiska egenskaper. Ett säkerhetsdatablad med hanterings- och bortskaffningsinstruktioner finns också tillgängligt. PSL-flaskor är numrerade för bekväm teknisk service och support efter försäljningen.
| NIST SRM sfärer | 60.4nm, 101.8nm, 269nm och 895nm |
| Partikelkomposition | Polystyren Latex, PSL sfärer |
| Partikeltäthet | 0.625 g / cm3 |
| Brytningsindex | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
| Flaskstorlek | 5 ml |
| utgångs~~POS=TRUNC | ≤ 24 månader |
| tillsatser | Innehåller spårmängder ytaktivt medel |
| Föreslagen lagringstemp. | 2-8 ° C |
| Flaskstorlek och volym | 5ml flaska |
| PSL sfärer, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm | ||||
|
Produktdel # |
Nominell diameter |
Certifierat medelvärde |
Std. Dev & CV |
Fast material |
|
AP1690 |
895 nm |
895nm ± 5 nm |
0.7 nm |
0.50% |
|
AP1691 |
269 nm |
269nm ± 4 nm |
5.3 nm |
0.50% |
|
AP1963A |
101.8 nm |
101.8nm ± 1.1 nm |
0.55 nm |
0.50% |
|
AP1964 |
60.4 nm |
60.39nm ± 0.63 nm |
0.31 nm |
0.50% |
