Applied Physics USA
Polystyren latexpärlor, standarder för partikelstorlek
Applied Physics USA: PSL-sfärer, mikrosfärer av polystyren, partikelstorleksstandarder
Applied Physics USA tillhandahåller PSL-sfärer och polystyrenpärlor som partikelstorleksstandarder för aerosolinstrumentkalibrering. Wafer Inspection-verktyg, såsom KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE och Hitachi kräver också storlekskalibrering, vilket åstadkoms genom användning av polystyrenlatexsfärer. PSL-sfärer, polystyrenmikrosfärer och pärlor tillhandahålls i storlekar från 20 nm till 10 mikron för att kalibrera storlekssvarskurvorna för respektive waferinspektionssystem och laserpartikelräknare. PSL-sfärer från 20 nm till cirka 5 mikron används vanligtvis för att kalibrera storlekssvaret hos laserpartikelräknare. Mikrosfärer av polystyren kan användas för att producera Calibration Wafer Standards och Particle Wafer Standards, som används för att kalibrera storlekssvaret hos KLA-Tencor Surfscan-verktyg och de äldre Tencor Surfscan-verktygen
Applied Physics USA
Polystyrenlatexpärlor kan beställas genom att ringa Applied Physics vid (719) 428-4042.
Wafer Inspection Systems, kallade Scanning Surface Inspection Systems, SSIS, främst från KLA-Tencor och Hitachi, är kalibrerade med PSL Wafer Standards, som är Prime Silicon wafers avsatta med PSL-sfärer i specifika storlekar och smal storleksfördelning. Inspektionsverktygen för wafer används för att inspektera renheten på 300 mm, 200 mm, 150 mm waferytor; blott kisel eller film avsatt, wafer yta. SSIS kan identifiera X/Y-platsen för PSL-sfärerna och partiklarna, beskriva storleken på varje defekt samt sammanfatta ett övergripande partikelantal på skivans yta. KLA-Tencor waferinspektionssystem, såsom Tencor 6200, 6420 och KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 och KLA-Tencor SP3, används inom hela halvledarindustrin för denna applikation. Topcon har 3000-, 5000- och 7000-serien Wafer Inspection Systems. Estek, ADE, Aeronca och Hitachi tillhandahåller också en mängd olika waferinspektionssystem. Nästan varje SSIS som produceras idag kan nu detektera partikelstorlekskänslighet vid 30 nm eller bättre. PSL-sfärer används för att representera partikelstorleksstandarderna på waferytan. Applied Physics erbjuder PSL-sfärstorlekar från 20 nm till 160 mikron för storlekskalibrering, HEPA-filtertester etc. PSL-sfärer kan beställas genom att ringa Applied Physics vid (719) 428-4042.
PSL sfärer används med PSL Wafer Deposition Systems för att producera PSL Wafer Standards, även kallad Particle Wafer Standards. I båda fallen placeras den sedan på PSL Wafer Standard på ett skivinspektionssystem och skannas av en enda laser SSIS eller dual laser SSIS. Det faktiska svaret på PSL-storlek jämförs med SSIS-storlekens svar. Om de två topparna inte överensstämmer, måste SSIS kalibreras. Förblandade PSL-sfärer med hög koncentration är för 2300XP1-system, 2300 NPT-1-system, 2300NPT-2 och M2300G3 skivavlagringssystem.
PSL sfärer, 1% koncentration.
De förblandade PSL-sfärerna finns i en 50ml-flaska, mono-spridda i storlek (1-storleksfördelning) och tillhandahålls från cirka 47nm till 950nm i storlek. Denna PSL-lösning hälls direkt i nebulisatorn eller finfördelningsbehållaren. Förblandad är ett bekvämt sätt att köpa polystyrenlatexpärlor, eftersom all utspädning har utförts på ett mycket enhetligt sätt, ingen muss, ingen krångel, vilket tillåter användaren att inte hantera blandning av polystyrenlatexpärlor med bägare, DI-vatten och ultraljudsfack. Det icke-blandade PSL-materialet tillhandahålls i en 15ml-flaska, mono-spridd i storlek (1-storleksfördelning) och vanligtvis i en 1% -koncentration. Dessa PSL sfärer tillhandahålls i ett brett sortiment av storlekar, men för våra ändamål, från 20nm till 4um i storlek. PSL-materialet måste blandas till rätt utspädning, annars kommer det att vara till koncentrerat eller för svagt för att ge effektiva resultat när man försöker deponera av ett av ovanstående PSL Wafer-deponeringssystem. CleanRoom Foggers Link